用于测量高度图并将高度图合并为合成高度图的方法

摘要

本发明涉及一种用于测量高度图并将高度图合并为合成高度图的方法。该方法用于利用光学轮廓仪来测量基板的表面上的多个视场的高度图并将这些高度图合并为合成高度图，所述方法包括：使光学轮廓仪相对于表面沿着路线在视场之间移动；利用光学轮廓仪沿着路线测量表面上的视场的高度图；以及通过使所测量的视场的多个高度图彼此归一化来合并该多个高度图，以产生表面的合成高度图，其中路线被配置为在合并多个高度图期间使得针对光学轮廓仪的高度漂移的灵敏度最小化。

主权项

一种用于利用光学轮廓仪来测量基板的表面上的多个视场的高度图并将所测量到的高度图合并为合成高度图的方法，所述方法包括：使所述光学轮廓仪相对于所述表面沿着路线在视场之间移动；利用所述光学轮廓仪沿着所述路线测量所述表面上的视场的高度图；以及合并所测量的视场的多个高度图以产生所述表面的合成高度图，其中所述路线被配置为在合并多个高度图期间使得针对所述光学轮廓仪的高度漂移所引起的效应的灵敏度最小化。