电容式压力传感器

摘要

本发明描述了一种压力传感器及其使用方法。在一个实施方式中，压力传感器包括探测器本体和电容式传感器，所述电容式传感器布置在探测器本体的远端部处。电容式传感器产生感测电容。压力传感器也包括并联电容。在所描述的压力传感器中，由于与温度的变化相关联的尺寸的变化造成的感测电容的变化通过并联电容的相应变化来抵消。

主权项

一种压力传感器，包括：探测器本体；电容式传感器，所述电容式传感器布置在所述探测器本体的远端部处，所述电容式传感器包括：压力可弯曲隔板罩，所述压力可弯曲隔板罩具有电耦联至所述探测器本体的第一电容性表面；不可变形的部件，所述不可变形的部件具有第二电容性表面，所述不可变形的部件定位在所述探测器本体内并且与所述第一电容性表面间隔开；以及引线，所述引线电耦联至所述第二电容性表面；并联电容，所述并联电容限定在所述引线与所述探测器本体之间；以及感测电容，所述感测电容限定在所述第一电容性表面与所述第二电容性表面之间，其中，由温度的变化所引起的所述感测电容的变化通过所述并联电容的相应变化来内在地抵消。