用于制造包括悬浮隔膜的声波谐振器的方法

摘要

本发明涉及一种用于制造包括悬浮隔膜的声波谐振器的方法，所述悬浮隔膜包括压电材料层，其特征在于包括如下步骤：‑产生第一堆叠，其包括位于第一衬底的表面之上的至少一个第一压电材料(C_Piezo)层；‑产生第二堆叠，其包括至少一个第二衬底；‑在随后的键合步骤之前，通过控制尺寸的粒子的沉积或产生来制造至少一个非键合初始区域，将所述堆叠的其中一个的表面局部赋予投影纳米结构；‑所述两个堆叠的直接键合产生了位于堆叠之间的气泡(CAV)，这是由于非键合初始区域的存在导致的；‑薄化所述第一堆叠以消除至少所述第一衬底。

主权项

一种用于制造声波谐振器的方法，所述声波谐振器包括悬浮隔膜，所述悬浮隔膜包括压电材料层，其特征在于所述方法包括如下：‑准备第一堆叠，该第一堆叠包括位于第一衬底的表面之上的至少一个第一压电材料层；‑准备第二堆叠，该第二堆叠包括至少一个第二衬底；‑在所述第一堆叠和所述第二堆叠之一的表面上沉积或产生具有控制尺寸的粒子；‑在执行随后的键合之前，在所述第一堆叠和所述第二堆叠之一的所述表面上形成投影纳米结构，其中，投影纳米结构包括非键合初始区域，非键合初始区域包括具有控制尺寸的粒子中的至少一个粒子；‑在将所述第一堆叠和所述第二堆叠直接键合期间或之后，围绕在所述第一堆叠和所述第二堆叠之间的非键合初始区域形成气泡；‑薄化所述第一堆叠以消除至少所述第一衬底。