用于钟表的抗震轴承

摘要

本发明涉及用于钟表的抗震轴承，所述抗震轴承包括弹性结构(10)和由所述弹性结构承载的中心部分(14)，所述中心部分具有用于接纳钟表的转动元件的枢轴的盲孔(16A)。所述弹性结构和所述中心部分由一个一体式部件(6)形成，该一体式部件由单晶石英制成，所述盲孔至少部分地具有被截去顶端或未被截去顶端的三角锥体的形状，所述枢轴的端部抵靠所述盲孔。本发明还涉及用于制造这种类型的抗震轴承的方法，其中在用于单晶石英的各向异性蚀刻浴中对一体式部件进行机加工。优选地，分别在所述部件的两个侧面上设置两个掩膜(20，26)，用以同时从两个侧面蚀刻石英。

主权项

一种制造抗震轴承的方法，所述抗震轴承包括弹性结构(10)和由所述弹性结构承载的中心部分(14)，所述中心部分具有用于接纳钟表的转动元件的枢轴的盲孔(16；16A；16B)，所述弹性结构和所述中心部分由一个一体式部件(6)形成，所述方法的特征在于下述步骤：A)制造单晶石英晶片(6A)，该单晶石英晶片的分别是第一表面和第二表面的两个主表面基本上定向成与单晶石英的晶体结构的光轴(Z)垂直；B)在单晶石英晶片的第一表面上形成第一掩膜(20)，所述第一掩膜通过光刻构造，以便在第一表面上限定出所述弹性结构和盲孔的轮廓；C)通过将单晶石英晶片放入到化学蚀刻浴中来在所述单晶石英晶片中机加工出所述弹性结构和盲孔，所述化学蚀刻浴适于对单晶石英进行非常有利于沿着所述光轴进行蚀刻的各向异性蚀刻，所述第一掩膜选择成耐受所述化学蚀刻浴的蚀刻。