| 摘要 |
반도체 제조용 케미컬 공급장치 및 그 커플러 모듈 제어방법이 개시된다. 본 발명의 케미컬 공급장치는, 케미컬 종류별로 마련되어 외부 탱크로리로부터 케미컬을 공급받기 위한 복수 개의 자동 커플러 모듈과, 상기 복수 개의 자동 커플러 모듈 중 하나와 페어로 동작하며 상기 외부 탱크로리로 불활성 캐리어 가스를 공급하는 공용의 수동 커플러 모듈을 구비한다. 본 발명의 케미컬 공급장치는 수동 커플러 모듈을 공용으로 사용함으로써 복수 개의 수동 커플러 모듈을 사용하는 것에 비하여 전체 시스템 구조를 간단히 할 수 있고, 비용도 절감할 수 있다. |
