MANUFACTURING METHOD FOR A SEMICONDUCTOR DEVICE AND NONTRANSITORY COMPUTER READABLE MEDIUM STORING A PATTERN GENERATING PROGRAM

摘要

본 발명의 실시 형태의 반도체 장치에 의하면, 반도체 기판 상에 적층된 N(N은 2 이상의 정수)층 분의 적층체와, 상기 적층체에 의해 주위가 둘러싸이도록 분리된, 서로 깊이가 다른 개구부를 구비하는 적층체와, 개구부를 구비한다.