| 摘要 |
【課題】アライメントを含むノズルプレートの加工時間を大幅に短縮し、且つ、実際の加工精度を反映した等級管理用のモニタリングマークを、加工と同時にノズルプレートに付すことを可能とするレーザ加工方法を提供する。【解決手段】移動中のステージの位置情報と同期して発振するパルスレーザ光によるスキャン加工において、縮小投影用のマスクにノズル列用の開口と共にモニタリング用の開口をその近傍に配設し、ノズル１１２の加工と同時にモニタリングマーク１１１も加工する。その後、モニタリングマークを観察し等級管理情報をノズルプレート１００毎に決定する。【選択図】図１ |
