| 摘要 |
画像取得装置１では、撮像素子６として、複数の画素列３１を有すると共にローリング読み出しが可能な二次元撮像素子を用いている。そして、ローリング読み出しにおける各画素列３１での読み出しタイミングの遅延を利用し、対物レンズ２５の焦点位置を変更させつつ、試料Ｓにおける所定部位Ｓａの光像が撮像素子６の各画素列３１で露光されるように、対物レンズ２５の視野Ｖ内での試料Ｓの所定部位Ｓａの移動とローリング読み出しとを同期させている。これにより、各画素列３１からの画像データには、試料Ｓの同一部位において対物レンズ２５の焦点位置が変更されたときのコントラスト情報が含まれるので、当該情報に基づいて合焦点情報を迅速かつ精度良く算出できる。 |
