検査方法、検査装置、画像処理装置、プログラム及び記録媒体

摘要

【課題】光源の写り込みを欠陥と誤検出することを回避する。【解決手段】ワークに対する光源による相対的な光の照射位置を変更しながらカメラにワークを撮像させて複数の画像を取得する（Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４）。複数の画像それぞれについて欠陥候補を抽出する（Ｓ５）。各画像における欠陥候補の特徴点の座標値、及び欠陥候補の特徴量を算出する（Ｓ６）。欠陥候補の特徴量のパターンが、予め設定された欠陥を示すパターン情報と合致するとき、欠陥候補が欠陥であると判定する（Ｓ８，Ｓ９）。【選択図】図３