发明名称 |
感光性樹脂組成物、感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法 |
摘要 |
【課題】 解像度、密着性、及び屈曲性のいずれにも優れるレジストパターンを形成可能な感光性樹脂組成物並びにこれを用いた感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法を提供する。【解決手段】 (A)(メタ)アクリル酸に由来する構造単位、(メタ)アクリル酸ベンジルに由来する構造単位及び炭素数が1〜12のヒドロキシアルキル基を有する(メタ)アクリル酸ヒドロキシアルキルエステルに由来する構造単位を有するバインダーポリマーと、(B)エチレンオキシ基の構造単位数が1〜4であるビスフェノール型ジ(メタ)アクリレートを含む光重合性化合物と、(C)光重合開始剤と、を含有する感光性樹脂組成物。【選択図】 図1 |
申请公布号 |
JP2017040710(A) |
申请公布日期 |
2017.02.23 |
申请号 |
JP20150161026 |
申请日期 |
2015.08.18 |
申请人 |
日立化成株式会社 |
发明人 |
岡出 翔太;村松 有紀子;太田 絵美子;沢辺 賢;李 相哲 |
分类号 |
G03F7/033;C08F2/44;C08F2/46;C08F265/06;G03F7/004;G03F7/027;H05K3/06;H05K3/18 |
主分类号 |
G03F7/033 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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