弾性波装置およびその製造方法

摘要

弾性波装置（１０）のＩＤＴ電極（１２）は、ＡｌまたはＡｌを主成分とする第１の電極膜（２６）と、第１の電極膜（２６）より密度の大きい第２の電極膜（２２）と、第１の電極膜（２６）と第２の電極膜（２２）との間に設けられ、第１の電極膜（２６）および第２の電極膜（２２）の相互拡散を防止する拡散防止膜（２４）と、第１の電極膜（２６）と拡散防止膜（２４）との間に設けられ、第１の電極膜（２６）にＴｉ（拡散物質）を拡散させるための第１のＴｉ膜（拡散膜）（２５）と、を備える。