保護膜、反射性部材、および保護膜の製造方法

摘要

ガラス基板上に設置された金属膜を保護するため、前記金属膜の上部に配置された保護膜であって、当該保護膜は、シリカ膜で構成され、該シリカ膜は、波長６３２ｎｍにおける消衰係数ｋが１×１０−４以下、屈折率ｎが１．４６６以上であり、カーボンの含有量が３原子％以下であることを特徴とする保護膜。