| 摘要 |
【課題】絶縁性基体の欠陥に起因する、センサ素子の個体間の感度バラツキを低減し、検出精度が向上した粒子状物質検出センサの製造方法及び粒子状物質検出センサを提供する。【解決手段】被測定ガス中の粒子状物質を検出する粒子状物質検出センサは、絶縁性基体２に少なくとも一部が埋設された、一対の検出電極３、４を有するセンサ素子１を備えており、その検出部１１を、２５℃の温度における導電率が１００μＳ/ｃｍの水に浸漬したとき、下記式１で表される水中での抵抗率Ｒｗが、１．２ＧΩｃｍ以上である。Ｒｗ＝Ｒ１×Ｓ／Ｄ・・・（式１）但し、式１中、Ｒ１は上記一対の検出用電極間の抵抗（単位：ＧΩ）であり、Ｓは上記検出用電極の面積（単位：ｃｍ２）であり、Ｄは上記一対の検出用電極の電極間隔（単位：ｃｍ）である。【選択図】図１ |
