銅およびモリブデンを含む多層膜のエッチングに使用される液体組成物、およびその液体組成物を用いた基板の製造方法、並びにその製造方法により製造される基板

摘要

本発明は、銅およびモリブデンを含む多層膜のエッチングに使用される液体組成物および銅およびモリブデンを含む多層膜のエッチングのエッチング方法、並びに基板を提供する。本発明においては（Ａ）マレイン酸イオン供給源、（Ｂ）銅イオン供給源、並びに（Ｃ）１−アミノ−２−プロパノール、２−（メチルアミノ）エタノール、２−（エチルアミノ）エタノール、２−（ブチルアミノ）エタノール、２−（ジメチルアミノ）エタノール、２−（ジエチルアミノ）エタノール、２−メトキシエチルアミン、３−メトキシプロピルアミン、３−アミノ−１−プロパノール、２−アミノ−２−メチル−１−プロパノール、１−ジメチルアミノ−２−プロパノール、２−（２−アミノエトキシ）エタノール、モルホリン、および４−（２−ヒドロキシエチル）モルホリンからなる群より選ばれる少なくとも一種であるアミン化合物を含み、かつｐＨ値が４〜９である液体組成物を用いる。