| 摘要 |
【課題】イオン注入装置における高度のイオン衝撃部位を有するデバイスに適し、且つフッ素化合物を含む気体又は酸化物を含む気体がある高温の稼働環境（500〜900℃）において、例えばイオンチャンバ、イオンチャンバ出口などの耐用年数が2〜5倍になる炭化タングステンでコーティングされるタングステン製のイオン注入構造を提供する。【解決手段】主体層100及び炭化タングステンコーティング層110を含み、主体層はタングステン金属を含む化合物又は純粋なタングステン金属であり、主体層の上に炭化タングステンコーティング層が設けられる。【選択図】図１ |
