| 摘要 |
본원에서 설명되는 실시예들은 기판들을 고정시키고 이송하기 위한 장치 및 방법에 관한 것이다. 하나 또는 그 초과의 정전 척킹 전극(electrostatic chucking electrode)들이 내부에 배치되는 기판 캐리어는, 그러한 캐리어에 기판을 정전기적으로 커플링시킨다. 선택적으로, 마스크가 또한, 캐리어에 정전기적으로 커플링될 수 있으며, 기판에 의해 점유되지 않는, 캐리어의 영역 위에 배치될 수 있다. 일 실시예에서, 제 1 전극 어셈블리가 기판을 캐리어에 척킹하고 그리고 제 2 전극 어셈블리가 마스크를 캐리어에 척킹하도록, 다수의 전극 어셈블리들이 제공된다. 다른 실시예에서, 포켓(pocket)이 캐리어에 형성되며, 전극 어셈블리는 포켓 내에 척킹 능력(chucking capability)을 제공한다. |
