涂布设备、利用其回收涂布液的方法及其清洁方法

摘要

一种涂布设备、利用其回收涂布液的方法及其清洁方法。该涂布设备包括供给装置、涂布装置以及回收装置。所述供给装置包括进液口、出液口、连接所述进液口的涂布液供给单元和连接所述出液口的供给泵。所述涂布装置包括具有接收口、涂布口和排气口的涂布头，所述接收口与所述供给装置的出液口连接。所述回收装置包括至少一个回收入口和回收液出口，所述至少一个回收入口包括的供给过程回收入口与所述涂布头的排气口连接，所述回收液出口与所述供给装置的进液口连接。本发明实施例可以减少涂布液的浪费。

主权项

一种涂布设备，包括：供给装置，其包括进液口、出液口、以及相互连接的涂布液供给单元和供给泵，其中，所述涂布液供给单元连接所述进液口，所述供给泵连接所述出液口；涂布装置，其包括涂布头，其中，所述涂布头包括接收口、涂布口和排气口，所述涂布头的接收口与所述供给装置的出液口连接；以及回收装置，其包括至少一个回收入口和回收液出口，其中，所述至少一个回收入口包括供给过程回收入口，所述供给过程回收入口与所述涂布头的排气口连接，所述回收液出口与所述供给装置的进液口连接。