一种用于制备PVD、CVD涂层的多功能夹具及其方法

摘要

本发明公开了一种用于制备PVD、CVD涂层的多功能夹具及其方法。该夹具由下支架、上挡板、紧固螺钉整体构成。下支架设有固定螺孔，定位凸台，样品定位槽。上挡板设有紧固螺孔，定位槽，透射孔和样品槽。通过采用样品槽的设计使得试样在做镀层过程中尽量较小除重力外其他应力的影响，以免造成所制备的涂层因受到应力而产生起皱、断裂等缺陷，保证试样的处理效果和镀层质量。样品槽的设计采用顶圆半径小于底圆半径的圆柱体，可适用于不用半径和厚度的样品。可以根据需要一次性进行多个试样的制备处理，降低实验的操作误差。本发明夹具结构简单、成本低，操作简单，可靠性强，通用性强。

主权项

一种用于制备PVD、CVD涂层的多功能夹具，以下简称夹具，其特征在于：该夹具由下支架(1)、上挡板(5)、紧固螺钉构成，所述下支架(1)设有固定螺孔(2)，定位凸台(3)，样品定位槽(4)；所述上挡板(5)设有紧固螺孔(6)，定位槽(7)，透射孔(8)和样品槽(9)；所述下支架(1)的固定螺孔(2)与所述上挡板(5)的紧固螺孔(6)配套，通过螺钉固定夹具；所述下支架(1)的定位凸台(3)与所述上挡板(5)的定位槽(7)配套，以固定夹具的稳定性；所述上挡板(5)的样品槽(9)采用顶圆半径小于底圆半径的圆柱体，底圆半径与所述下支架(1)样品定位槽(4)的半径相同，此截面渐变的设计可以对厚度和半径在一定范围内的样品进行夹装；所述上挡板(5)的透射孔(8)半径比样品槽(9)顶圆半径小，以固定待喷涂样品。