用于改善柔性纳米结构的干燥的方法和系统

摘要

本文公开了用于加工纳米结构的方法和系统。特别地，本文公开了用于在半导体制造期间加工纳米结构的方法，包括干燥纵横比高的纳米结构。还公开了用于实施本文公开的方法的系统。

主权项

一种方法，包括：漂洗其上形成有图案化层的基底，其中将所述基底和所述图案化层打湿，所述打湿通过第一漂洗剂，通过在其上分配第二漂洗剂以置换所述第一漂洗剂而进行；以及与所述漂洗步骤同时或紧接着所述漂洗步骤，使所述基底和所述图案化层暴露于吹扫气体和气化的甲硅烷基化剂的混合物以置换所述第二漂洗剂并干燥所述基底，其中在第一漂洗步骤与第二漂洗步骤之间不允许所述基底和所述图案化层干燥，并且所述第二漂洗剂置换所述第一漂洗剂。