| 发明名称 | 用于制造微机械结构元件的方法 | ||
| 摘要 | 一种用于制造微机械结构元件(100)的方法，该方法具有以下步骤：‑在结构元件(100)的MEMS元件(5)中或盖元件(6)中构造进入开口(7)；‑连接MEMS元件(5)与盖元件(6)，其中，在MEMS元件(5)和盖元件(6)之间构造至少一个空腔(8a、8b)；‑以及，借助于激光(9)在一个限定的气氛下封闭通到所述至少一个空腔(8a、8b)中的进入开口(7)。 | ||
| 申请公布号 | CN106458574A | 申请公布日期 | 2017.02.22 |
| 申请号 | CN201480075314.6 | 申请日期 | 2014.12.22 |
| 申请人 | 罗伯特·博世有限公司 | 发明人 | J·贡斯卡;J·赖因穆特;M·阿梅托沃布拉 |
| 分类号 | B81C1/00(2006.01)I | 主分类号 | B81C1/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人 | 侯鸣慧 |
| 主权项 | 一种用于制造微机械结构元件(100)的方法，该方法具有以下步骤：‑在所述结构元件(100)的MEMS元件(5)中或盖元件(6)中构造进入开口(7)；‑将所述MEMS元件(5)与所述盖元件(6)连接，其中，在所述MEMS元件(5)和所述盖元件(6)之间构造至少一个空腔(8a、8b)；以及‑在限定的气氛下借助于激光(9)封闭通到所述至少一个空腔(8a、8b)的所述进入开口(7)。 | ||
| 地址 | 德国斯图加特 | ||