制造用于剃刮剃刀的硅刀片的方法

摘要

本发明提供了用于由硅材料制造剃刀刀片的方法。在一些具体实施中，该方法包括以一定角度对准包括{100}表面的单晶硅晶片，其中{111}平面与{100}表面相交，平行和垂直于晶片；蚀刻单晶硅晶片，以暴露{111}平面和第二平面，以便提供具有约20度刀片夹角至约35度刀片夹角的刀刃；在刀刃上施涂硬涂层；在硬涂层的沉积之后提供约20纳米至约100纳米的刀刃曲率半径；在刀刃上施涂软涂层；以及将剃刀刀片从单晶硅晶片中移除。

主权项

一种用于制造至少一个剃刀刀片的方法，包括：以一定角度对准包括{100}表面的单晶硅晶片，其中{111}平面与所述{100}表面相交，平行和垂直于所述晶片；蚀刻所述单晶硅晶片，以暴露{111}平面和第二平面，以便提供具有约19.5度刀片夹角至约35.3度刀片夹角的至少一个刀刃；在所述至少一个刀刃上施涂至少一个内层；在所述至少一个内层的沉积之后，提供约20纳米至约100纳米的所述至少一个刀刃的曲率半径；在所述至少一个刀刃上施涂至少一个外层；以及将所述至少一个剃刀刀片从所述单晶硅晶片中移除。