| 发明名称 | 一种薄膜晶体管及其制作方法、显示基板和显示装置 | ||
| 摘要 | 本发明的实施例提供一种薄膜晶体管及其制作方法、显示基板和显示装置，涉及显示技术领域，解决了现有的薄膜晶体管中的氮氧化锌材料的有源层与源漏极的欧姆接触效果差的问题，提高了有源层与源漏极的欧姆接触性能。同时，提高了显示器的画面的显示效果。该薄膜晶体管包括：有源层、源极和漏极，还包括：欧姆接触层，其中：所述欧姆接触层设置在有源层与所述源极之间和所述有源层与所述漏极之间的位置处；欧姆接触层的材料为氮化锌。本发明应用于显示器的制作技术中。 | ||
| 申请公布号 | CN104362180B | 申请公布日期 | 2017.02.22 |
| 申请号 | CN201410546475.0 | 申请日期 | 2014.10.15 |
| 申请人 | 京东方科技集团股份有限公司 | 发明人 | 辛龙宝;刘凤娟 |
| 分类号 | H01L29/786(2006.01)I;H01L29/45(2006.01)I;H01L21/34(2006.01)I;H01L21/441(2006.01)I | 主分类号 | H01L29/786(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人 | 申健 |
| 主权项 | 一种薄膜晶体管，所述薄膜晶体管包括：有源层、源极和漏极，其特征在于，所述薄膜晶体管还包括：欧姆接触层，其中：所述欧姆接触层设置在所述有源层与所述源极之间和所述有源层与所述漏极之间的位置处；所述欧姆接触层的材料为氮化锌；所述有源层的材料为氮氧化锌；所述薄膜晶体管还包括：修饰层，其中：所述修饰层设置在所述欧姆接触层上，且所述修饰层上与所述源极和所述漏极对应的位置处设置有过孔；所述修饰层的材料为金属或者非金属氮化物。 | ||
| 地址 | 100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号 | ||