自动化连续式防污膜镀膜装置

摘要

本发明涉及真空镀膜领域，尤其涉及自动化连续式防污膜镀膜装置，特别是适用于对液态有机蒸镀材料进行真空蒸发镀膜的镀膜装置，其特征在于：所述真空蒸镀室与所述真空预热室之间设置有一可启闭的闸阀；所述真空预热室内设置有加液系统、推送机构、加热装置和坩埚，所述加液系统向所述坩埚中加注蒸镀所述防污膜的膜料，所述加热装置承载并加热所述坩埚，所述推送机构通过推送杆连接所述坩埚，以使所述坩埚实现在所述真空蒸镀室和所述真空预热室之间的往返移动。本发明的优点是：可以进行自动化、连续式镀膜；可以对液态镀膜材料进行精确定量的镀膜，不但提高了镀膜精度，同时降低了因使用固态药片所导致的高成本。

主权项

一种自动化连续式防污膜镀膜装置，所述镀膜装置包括真空蒸镀室和至少一个真空预热室，所述真空蒸镀室的内腔和所述真空预热室的内腔之间构成连通，其特征在于：所述真空蒸镀室与所述真空预热室之间设置有一可启闭的闸阀；所述真空预热室内设置有加液系统、推送机构、加热装置和坩埚，所述加液系统向所述坩埚中加注蒸镀所述防污膜的膜料，所述加热装置承载并加热所述坩埚，所述推送机构通过推送杆连接所述坩埚，以使所述坩埚实现在所述真空蒸镀室和所述真空预热室之间的往返移动。