用于紧凑的序列线性致动器的方法和设备

摘要

本发明涉及序列线性致动器，其尺寸紧凑，并可以高速、低故障率操作。公开的线性致动器可用在亚微米定位应用中，比如半导体或生物技术扫描应用中。致动器设备可包括磁体壳体，其限定出内部体积，永久磁体和动圈组件布置在内部体积中。动圈组件包括绕一组大致平坦的动圈支架缠绕的导电线圈。动圈组件居中地定位在致动器内，位于一组外部交叉滚子导轨之间，以减少或消除线圈对致动器的引导系统的弯矩效应，并允许致动器具有小高度和紧凑形式因子。

主权项

一种线性致动器，包括：磁体壳体，包括第一端和第二端，所述磁体壳体在所述第一端和所述第二端之间限定出内部体积；至少一个磁体，联接到所述磁体壳体的内表面；移动滑块组件，包括平行于第二交叉滚子导轨布置的第一交叉滚子导轨；以及动圈组件，可操作地联接到移动滑块组件，所述动圈组件包括接收在内部体积内的至少一个线圈。