发明名称 |
等离子体扩散器 |
摘要 |
本发明涉及至少部分地防止由等离子体涂覆工艺引起的基底变色的方法,其通过在将所述等离子体沉积到所述基底上而形成涂层之前和/或期间扩散等离子体。本发明也涉及包括用于在待涂覆的基底附近使等离子体密度均匀化的等离子体扩散器的等离子体涂覆装置。 |
申请公布号 |
CN106460308A |
申请公布日期 |
2017.02.22 |
申请号 |
CN201580033372.7 |
申请日期 |
2015.04.22 |
申请人 |
欧洲等离子公司 |
发明人 |
F.莱盖因;E.罗格;G.费斯 |
分类号 |
D06M10/02(2006.01)I;D06M10/10(2006.01)I;D06M14/18(2006.01)I;D06M14/32(2006.01)I;D06M15/277(2006.01)I;H01J37/32(2006.01)I |
主分类号 |
D06M10/02(2006.01)I |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 11105 |
代理人 |
宋莉;孙梵 |
主权项 |
至少部分地防止由等离子体涂覆工艺引起的基底变色的方法,其通过在将所述等离子体沉积到所述基底上形成涂层之前和/或期间扩散等离子体。 |
地址 |
比利时奥德纳尔德 |