一种喷头组在蚀刻区做往复运动的蚀刻方法及装置

摘要

本发明涉及一种工件在蚀刻区静止不动，而蚀刻剂喷射头组做往复运动的蚀刻方法及装置。喷射头组在向工件喷射蚀刻剂的同时，在蚀刻区内往返移动，控制喷射头组在蚀刻区的往返运动的速度和遍数，控制蚀刻加工的进程，完成预定蚀刻效果。采用这样的结构，装置的长度可以缩短到：2×蚀刻喷头组长度+工件长度或更短。本发明的方法及装置能蚀刻材料厚度为任意大小的工件，并能获得好于现有大型单向工件传送装置的蚀刻质量，特别适合工件长度大或者工件重量大的应用领域。

主权项

一种喷头组在蚀刻区做往复运动的蚀刻方法，其特征在于：用一种可实现往复运动的蚀刻剂喷射头组系统，在向工件喷射蚀刻剂的同时，在蚀刻区内往返运动，用往返遍数及速度控制蚀刻加工的进程，使装置适合蚀刻各种材料厚度，直到蚀刻达到预定的程度为止，步骤为：⑴将工件放置在蚀刻装置内，喷头组在向工件喷射蚀刻剂的同时，自工件的起点端向工件的终点端移动；⑵当喷头组移动到工件的终点端后，反向从工件的终点端向工件的起始端移动，移动的同时向工件水平喷射蚀刻剂；⑶从起点端和终点端分别再次向另一端移动喷头组，喷头组移动的同时，向工件水平喷射蚀刻剂；⑷待工件被蚀刻完毕后，将工件从蚀刻区传送到所述蚀刻装置水洗或下料区，所述蚀刻装置包括工件载具、喷头组和喷头组传动系统，所述工件载具和喷头组传动系统均安装在蚀刻装置内，喷头组安装在喷头组传动系统上，所述喷头组包括两排喷射管，每排喷射管分别包括一条或多条相互平行的喷射管，每条喷射管上均间隔均布连通安装有多个喷头，两排喷射管上的喷头相向设置，所述工件载具位于两排喷射管之间，所述喷头组传动系统包括驱动部件和传动链，两排喷射管镜像对称地安装在所述传动链上，传动链带动两排喷射管在蚀刻区内往返移动，所述喷射管均为竖管或横管。