| 发明名称 | 具有放电电路的微机电系统器件 | ||
| 摘要 | 具有放电电路的微机电系统(MEMS)器件。在一些实施例中，MEMS器件可以包括基板和在基板上所实施的机电组件。MEMS器件还可以包括关于机电组件所实施的放电电路。放电电路可以被配置为在影响机电组件的放电条件期间提供优选的电弧放电路径。MEMS器件可以例如是开关器件、电容器件、陀螺仪传感器器件、加速度计器件、表面声波(SAW)器件或者体声波(BAW)器件。放电电路可以包括具有被配置为促进优选的电弧放电路径的一个或多个火花间隙元件的火花间隙组件。 | ||
| 申请公布号 | CN106458573A | 申请公布日期 | 2017.02.22 |
| 申请号 | CN201580031997.X | 申请日期 | 2015.04.13 |
| 申请人 | 天工方案公司 | 发明人 | J.F.梅森;D.C.巴特尔;D.S.怀特菲尔德;D.T.佩措尔德;D.居内什;P.T.迪卡洛 |
| 分类号 | B81B7/02(2006.01)I;G01P15/135(2006.01)I;H01H59/00(2006.01)I;G01C19/56(2012.01)N | 主分类号 | B81B7/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 于小宁 |
| 主权项 | 一种微机电系统(MEMS)器件，包括：基板；在基板上所实施的机电组件；以及关于机电组件所实施的放电电路，该放电电路被配置为在影响机电组件的放电条件期间提供优选的电弧放电路径。 | ||
| 地址 | 美国马萨诸塞州 | ||