一种分析电子级混合气组分含量的装置

摘要

本实用新型涉及一种分析电子级混合气组分含量的装置，包括：取样管路、吹扫管路、抽真空管路以及检测机构，取样管路具有连接电子级混合气气源的连接口，吹扫管路、抽真空管路以及检测机构分别与取样管路相连通；抽真空管路包括抽吸机构、气体抽真空管路，气体抽真空管路连接在取样管路连接检测机构的上游。本实用新型使样品气彻底隔绝空气，不会与空气接触自燃，避免事故发生；样品气不会与空气接触，不会反应产生固体颗粒损坏系统部件；有效排除了空气稀释的干扰，组分含量分析不受影响；样品气不与空气接触，不会发生反应，组分含量完全保留；分析系统有真空装置，分析速度快，减少了样品气用量。

主权项

一种分析电子级混合气组分含量的装置，其特征在于：包括：取样管路、吹扫管路、抽真空管路以及检测机构，所述的取样管路具有连接电子级混合气气源的连接口，所述的吹扫管路、抽真空管路以及检测机构分别与取样管路相连通；所述的抽真空管路包括用于将所述的取样管路抽真空的抽吸机构、用于将取样管路内的电子级混合气向所述的检测机构抽吸的气体抽真空管路，所述的气体抽真空管路连接在所述的取样管路连接所述的检测机构的上游。