一种SiCN陶瓷有线无源温度传感器及其制备方法

摘要

一种SiCN陶瓷有线无源温度传感器及其制备方法，涉及温度传感器。所述传感器设有圆柱形非晶态SiCN陶瓷温敏元件、谐振腔、耦合激励端口和共面波导线；温敏元件设于共面波导线上，温敏元件表面包裹有耐高温金属层，耐高温金属层形成谐振腔，在谐振腔的侧表面设耦合激励端口，谐振腔通过耦合激励端口与共面波导线直接耦合。先制备圆柱形非晶态SiCN陶瓷温敏元件；在温敏元件侧表面对应耦合激励端口处，用聚酰亚胺胶带保护后，再在温敏元件表面电镀上金属层而形成谐振腔，去除聚酰亚胺胶带，即得侧表面带有耦合激励端口的谐振腔；制备共面波导线；将谐振腔放置在共面波导线上，使耦合激励端口与共面波导线耦合，并键合，交联固化后即得。

主权项

一种SiCN陶瓷有线无源温度传感器，其特征在于，设有圆柱形非晶态SiCN陶瓷温敏元件、谐振腔、耦合激励端口和共面波导线；圆柱形非晶态SiCN陶瓷温敏元件设于共面波导线上，圆柱形非晶态SiCN陶瓷温敏元件表面包裹有耐高温金属层，耐高温金属层形成谐振腔，在谐振腔的侧表面设耦合激励端口，谐振腔通过耦合激励端口与共面波导线直接耦合；所述圆柱形非晶态SiCN陶瓷温敏元件的直径为2～18mm，厚度为0.5～5mm；所述耐高温金属层的材料熔点大于1000℃；所述耐高温金属层的厚度为20～50μm；所述共面波导线的介质基板为氧化铝介质基板，介质基板的厚度为0.635mm，共面波导线的中心导带和两侧地线均为耐高温金属层，耐高温金属层的厚度为5μm。