基于级联光栅结构的超窄带TE偏振光谱选择性吸收器

摘要

一种基于级联光栅结构的超窄带TE偏振光谱选择性吸收器，包括自上而下的金属光栅层和布拉格光栅层，在所述的布拉格光栅层下还有金属薄膜反射层，所述的顶部金属光栅层的周期、占空比和厚度分别为365～375纳米、0.48～0.52和45～55纳米，所述的中间布拉格光栅层由5对以下的交错排列的高折射率电介质平板和低折射率电介质平板组成，所述的高折射率电介质平板和低折射率电介质平板的厚度分别为270～290纳米和300～320纳米，所述的底部金属薄膜反射层的厚度应大于光在红外波段的趋肤深度。本发明可由电子束直写装置结合微电子工艺加工而成，取材方便，造价小，能大批量生产，具有重要的实用前景。

主权项

一种用于红外波段的基于级联光栅结构的超窄带TE偏振光谱选择性吸收器，该吸收器包括自上而下的金属光栅层(2)和布拉格光栅层(3)，其特征在于在所述红外波段为1800‑2200nm，在所述的布拉格光栅层(3)下还有金属薄膜反射层(4)，所述的顶部金属光栅层的周期、占空比和厚度分别为365～375纳米、0.48～0.52和45～55纳米，所述的中间布拉格光栅层由5对以下的交错排列的高折射率电介质平板和低折射率电介质平板组成，所述的高折射率电介质平板和低折射率电介质平板的厚度分别为270～290纳米和300～320纳米，所述的底部金属薄膜反射层的厚度大于光在红外波段的趋肤深度。