一种静电式MEMS扭转梁疲劳强度的测试结构

摘要

一种静电式MEMS扭转梁疲劳强度的测试结构，包括衬底、沉积于衬底上表面的四块下极板、水平悬置在衬底上方的两个“中”字结构，连接在衬底上的三个锚区；每个“中”字结构由一块矩形上极板和垂直连接在上极板两侧中部的两根窄梁构成；两个“中”字结构相互垂直、通过其中一根窄梁相连，这根窄粱也为被测粱，其余三根窄梁的另一端分别连接在各自锚区的侧面；四块下极板表面均涂有介质薄层，两两一组、并行排列，分别位于两块上极板的正下方，形成两个相互垂直的分立式双下电极平板电容，当分立式双下电极平板电容的上极板与其下方的两块下极板之间同时施加电压、交替施加电压，或只与一块下极板之间施加电压时，上极板分别呈现整体下移、两半边上下摆动、或一边下移而另一边上翘的三种状态。

主权项

一种静电式MEMS扭转梁疲劳强度的测试结构，其特征在于该测试结构包括衬底（1）、沉积于衬底（1）上表面的两组下极板即左下极板（201）、右下极板（202）、前下极板（203）、后下极板（204），水平悬置于衬底（1）上方的两个中字结构，连接在衬底上的三个锚区即第一锚区（501）、第二锚区（502）、第三锚区（503），整个结构关于纵向中轴线左右对称；所述两组下极板沉积于衬底（1）的上表面，一组为左右并行排列的两块分立的下极板即左下极板（201）和右下极板（202），另一组为前后并行排列的两块分立的下极板即前下极板（203）和后下极板（204）；所述中字结构的前中字结构（3）由一块矩形上极板（301）和垂直连接在第一上极板（301）前后两侧中部的前窄梁（302）和后窄梁（303）构成；后中字结构（4）与前中字结构（3）尺寸、结构完全相同，相互垂直，通过其中一根后窄梁（303）相连，前窄梁（302）的前端接第一锚区（501），前窄梁（302）的后端接前中字结构（3）；左窄梁（402）的一端接第二锚区（502），另一端接第二上极板（401），右窄梁（403）的一端接第三锚区（503），另一端接第二上极板（401）；所述两个“中”字结构即前中字结构（3）和后中字结构（4）位于同一平面，通过三个锚区即第一锚区（501）、第二锚区（502）和第三锚区（503）悬置在衬底（1）上方，并使第一上极板（301）和第二上极板（401）分别位于两组分立的左下极板（201）、右下极板（202）、前下极板（203）、后下极板（204）的正上方，形成两个分立式双下电极平板电容C1和C2。