| 发明名称 | 晶化装置、晶化方法、有机发光显示装置及有机发光显示装置的制造方法 | ||
| 摘要 | 用于对形成在衬底上的半导体层进行晶化的晶化装置，包括：激光发生器，生成激光束；以及台，所述衬底安装在所述台上，其中，所述半导体层被分成多个晶化区域和多个非晶化区域，所述激光束多次照射在所述晶化区域上，以使所述晶化区域晶化，其中，所述激光束多次照射在相同晶化区域的不同位置上。 | ||
| 申请公布号 | CN103094081A | 申请公布日期 | 2013.05.08 |
| 申请号 | CN201210210709.5 | 申请日期 | 2012.06.20 |
| 申请人 | 三星显示有限公司 | 发明人 | 金成虎;金度岭;申旼澈;崔珉焕;许宗茂 |
| 分类号 | H01L21/268(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/268(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人 | 余朦;姚志远 |
| 主权项 | 用于对形成在衬底上的半导体层进行晶化的晶化装置，包括：激光发生器，生成激光束；以及台，所述衬底安装在所述台上，其中，所述半导体层被分成多个晶化区域和多个非晶化区域，所述激光束多次照射在所述晶化区域上，以使所述晶化区域晶化，其中，所述激光束多次照射在相同晶化区域的不同位置上。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||