| 发明名称 | 基板运输设备 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种基板运输设备，包括：框架；上臂，所述上臂绕肩轴线旋转安装至所述框架；前臂，所述前臂绕肘轴线旋转安装至所述上臂，其中，所述前臂包括通过公共关节依赖于所述上臂的堆叠式前臂部；以及独立堆叠式末端效应器，所述独立堆叠式末端效应器旋转安装至所述前臂，所述前臂对所述独立堆叠式末端效应器是公共的，其中，至少一个末端效应器在腕轴线处安装至所述堆叠式前臂部，其中，所述前臂配置为将在安装至所述堆叠式前臂部的所述独立堆叠式末端效应器之间的间隔与在末端效应器之间的高度积聚解除联接，从而容纳通过的器械。 | ||
| 申请公布号 | CN106463438A | 申请公布日期 | 2017.02.22 |
| 申请号 | CN201580017265.5 | 申请日期 | 2015.01.28 |
| 申请人 | 布鲁克斯自动化公司 | 发明人 | R.T.卡韦尼;U.吉尔克里斯特 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/677(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 孟璞;胡斌 |
| 主权项 | 一种基板运输设备，包括：框架；上臂，所述上臂绕肩轴线旋转安装至所述框架；前臂，所述前臂绕肘轴线旋转安装至所述上臂，其中，所述前臂包括通过公共关节依赖于所述上臂的堆叠式前臂部；以及独立堆叠式末端效应器，所述独立堆叠式末端效应器旋转安装至所述前臂，所述前臂对所述独立堆叠式末端效应器是公共的，其中，至少一个末端效应器在腕轴线处安装至所述堆叠式前臂部；其中，所述前臂配置为将安装至所述堆叠式前臂部的所述独立堆叠式末端效应器之间的间隔与在末端效应器之间的高度积聚解除联接，从而容纳通过的器械。 | ||
| 地址 | 美国马萨诸塞州 | ||