发明名称 一种半导体键合线的制备方法
摘要 本发明公开了一种半导体键合线的制备方法,该方法包括以下步骤:(1)熔炼制棒,其包括二元合金棒料及键合线棒料;(2)键合线棒料的拉拔;(3)键合线清洗;(4)键合线退火;(5)键合线复绕。本发明采用二次熔炼方法制备键合线棒料,使混炼材料熔炼充分,制得的材料导电性、传导性和延展性较好,且便于加工;通过对键合线进行清洗,有利于将键合线上的污垢清洗干净,防止键合线轻微氧化;通过对键合线进行退火处理,并且采用氮气作为保护气体,提高了安全性,同时通过在退火过程中对键合线滴注SN防银变色剂,提高了键合线的抗氧化性,从而有利于延长其使用周期;通过采用交叉排线的方式,有利于避免放线时出现夹丝、粘丝的异常现象。
申请公布号 CN106449446A 申请公布日期 2017.02.22
申请号 CN201610876584.8 申请日期 2016.09.30
申请人 陶德培 发明人 陶德培
分类号 H01L21/60(2006.01)I;C22C1/02(2006.01)I;C22C9/00(2006.01)I;C22F1/08(2006.01)I 主分类号 H01L21/60(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种半导体键合线的制备方法,其特征在于:该方法包括以下具体制备步骤:(1)熔炼制棒,其包括二元合金棒料及键合线棒料;(2)键合线棒料的拉拔;(3)键合线清洗;(4)键合线退火;(5)键合线复绕。
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