发明名称 |
一种集成电路密封环 |
摘要 |
本发明提供一种集成电路密封环,包括:衬底层;形成于所述衬底层中的掺杂区;形成于所述掺杂区上的介质层和金属层的叠层结构,各金属层及所述掺杂区通过连接孔实现电性连接;以及,形成于所述叠层结构中的电容器,所述电容器的第一极板及第二极板分别通过所述叠层结构中的金属层及缓冲区中的金属层与衬底及内部电路连接。本发明的集成电路密封环在不影响集成电路面积,亦不改变密封圈的功能和性能的情况下,在现有的集成电路密封环的结构上加以改进,使集成电路同时满足多晶硅的密度要求和增加滤波功能。 |
申请公布号 |
CN106449600A |
申请公布日期 |
2017.02.22 |
申请号 |
CN201611064890.8 |
申请日期 |
2016.11.28 |
申请人 |
上海南麟电子股份有限公司 |
发明人 |
何云;刘桂芝 |
分类号 |
H01L23/58(2006.01)I;H01L23/64(2006.01)I |
主分类号 |
H01L23/58(2006.01)I |
代理机构 |
上海光华专利事务所 31219 |
代理人 |
余明伟 |
主权项 |
一种集成电路密封环,其特征在于,所述集成电路密封环至少包括:衬底层;形成于所述衬底层中的掺杂区;形成于所述掺杂区上的介质层和金属层的叠层结构,各金属层及所述掺杂区通过连接孔实现电性连接;以及,形成于所述叠层结构中的电容器,所述电容器的第一极板及第二极板分别通过所述叠层结构中的金属层及缓冲区中的金属层与衬底及内部电路连接。 |
地址 |
201210 上海市浦东新区张江高科技园区蔡伦路103号1幢3楼A室 |