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웨이퍼 검사 레시피의 안정성을 시간 경과에 따라 모니터링하는 시스템 및 방법이 제공된다. 방법은 시간 경과에 따라 검사 결과를 수집하는 단계를 포함한다. 검사 결과는 웨이퍼에 대해 웨이퍼 검사 레시피를 다른 시점에서 수행하면서 적어도 하나의 웨이퍼 검사 툴에 의해 생성된다. 또한, 방법은 다른 시점에서 생성된 상기 검사 결과를 서로 비교하는 것에 의해 검사 결과의 이상 변동을 확인하는 단계를 포함한다. 추가로, 방법은 상기 이상 변동이 상기 웨이퍼, 상기 웨이퍼 검사 레시피 또는 상기 적어도 하나의 웨이퍼 검사 툴 중 하나 이상의 웨이퍼 검사 툴에 기인하는지 여부를 결정하여 상기 웨이퍼 검사 레시피가 시간 경과에 따라 안정한지 여부를 결정하는 단계를 포함한다. |
