cover plate and plasma processing apparatus including the same

摘要

본 발명은 커버 플레이트 및 그를 구비하는 플라즈마 처리 장치를 개시한다. 그의 장치는 윈도우와, 윈도우 상에 배치된 안테나 전극과, 안테나 전극 및 상기 윈도우 사이로부터 상기 윈도우의 측벽까지 연장하여 상기 윈도우를 덮는 커버 플레이트를 포함한다.