instalação para o tratamento, a vácuo, de substratos

摘要

"instalação para o tratamento sob vácuo notadamente de substratos". essa instalação é notável pelo fato de que ela é composta por módulos independentes e alinhados (m) que compreendem cada um deles uma câmara de tratamento sob vácuo (c) e uma câmara de transferência (b) com meios de transferência de um substrato, para uma das diferentes câmaras ou de uma câmara para a outra situada a jusante ou a montante, diretamente ao lado ou separada de pelo menos um módulo, de modo que enquanto um substrato está em uma câmara para um tratamento específico, um outro substrato pode ser transferido para uma outra câmara para ser submetido a um outro tratamento.