| 摘要 |
【課題】 太陽電池の主表面上の電極形成を導電性ペーストの印刷、焼成を用いて行う場合において、電極幅を精度よく形成することができる太陽電池の製造方法を提供する。【解決手段】 半導体基板の少なくとも第１主表面上に集電電極を有する太陽電池の製造方法であって、前記半導体基板の少なくとも前記第１主表面上に、平行線状で所定の幅を有し第１の間隔及び前記第１の間隔よりも大きい第２の間隔の２つの間隔を有するエッチングマスクを設けた後、前記エッチングマスクによってマスクされていない部分の前記半導体基板をエッチングし、前記半導体基板の前記第１主表面上に前記所定の幅を有する凸部パターンを形成する工程と、前記半導体基板の前記第１主表面上の前記第１の間隔を隔てた凸部間の領域に導電性ペーストを印刷し焼成し、前記集電電極を形成する工程とを含むことを特徴とする太陽電池の製造方法。【選択図】 図１ |
