感放射線性樹脂組成物及び重合体

摘要

【課題】ＰＥＢ温度の低温化を図ることができ、感度、ＬＷＲ性能及び解像性に優れるレジストパターンを形成可能な感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】［Ａ］式（１−１）で表される構造単位を有する重合体、及び［Ｂ］酸発生体を含有し、上記［Ｂ］酸発生体がオニウム塩化合物である感放射線性樹脂組成物。式（１−１）中、Ｒ２は水素原子である。Ｒ３は水素原子、１価の鎖状炭化水素基、１価の脂環式炭化水素基又は１価の芳香族炭化水素基である。【選択図】なし