| 摘要 |
【課題】レーザ加工装置において、デブリを十分に吸引するとともに、その吸引能力が低下しないようにする。【解決手段】レーザ加工装置１に、デブリを吸引する吸引手段９２を備え、吸引手段９２には、デブリ捕獲チャンバ９３と、デブリ捕獲チャンバ９３内を洗浄する洗浄手段９５と備え、洗浄手段９５は、デブリ捕獲チャンバ９３の開口９３２ａを封鎖するシャッタ９５０と、開口９３２ａが封鎖されたデブリ捕獲チャンバ９３内に洗浄水を供給する洗浄水供給口９５１とを備え、シャッタ９５０がデブリ捕獲チャンバ９３の開口９３２ａを塞ぎ、吸引口９４から吸引し、デブリ捕獲チャンバ９３内に洗浄水供給口９５１から洗浄水を供給し、供給した洗浄水を吸引口９４から吸引してデブリ捕獲チャンバ９３内を洗浄する【選択図】図２ |
