| 摘要 |
拡張によって接着剤層を分断する工程に適した均一拡張性とピックアップ性を有し、かつブレードダイシング工程における切削性とピックアップ性にも優れるウエハ加工用テープを提供することを課題とする。基材フィルムの一方の面に粘着剤層が積層され、前記粘着剤層の前記基材フィルム側の表面から厚さ１μｍの領域の赤外吸収分析による４０００〜６５０ｃｍ−１の赤外スペクトルと、前記粘着剤層の前記基材フィルム側とは反対側の表面から厚さ１μｍの領域の赤外スペクトルとを比較した際のヒット率が９５％以下であり、前記基材フィルム側とは反対側の表面から厚さ１μｍの領域の粘着剤層が、分子中に放射線硬化性炭素−炭素二重結合を有する化合物（Ａ）と、ポリイソシアネート類、メラミン・ホルムアルデヒド樹脂およびエポキシ樹脂から少なくとも１種選ばれる化合物（Ｂ）とを含有していることを特徴とする粘着テープを用いる。 |
