| 摘要 |
【課題】 低真空環境下でのイオンフィードバックを効果的に抑制するための構造を備えた荷電粒子検出器等を提供する。【解決手段】 ＭＣＰユニット２００から出力された電子と残留ガス分子との衝突により発生した残留ガスイオンを、主に電子を捕獲するための第１電極３００とは電気的に絶縁された第２電極４００で捕獲させるため、第１電極３００の電位はＭＣＰユニット２００の出力側電位よりも高く設定される一方、第２電極４００の電位はＭＣＰユニット２００の出力側電位よりも低く設定される。これにより、ＭＣＰユニット２００へのイオンフィードバックが効果的に抑制される。【選択図】図２ |
