| 摘要 |
【課題】粘着テープを貼り替える際の作業性を高めたフレームユニット保持テーブルを提供する。【解決手段】フレームユニット保持テーブル（２）であって、粘着テープ（１５）を介して被加工物（１３）の全体を保持する被加工物保持部（４）と、被加工物保持部の外周を囲む領域で環状フレーム（１７）を保持するフレーム保持部（１６）と、被加工物保持部とフレーム保持部との間の領域で粘着テープ（１５）を保持するテープ保持部（１２）と、一端側が被加工物保持部（４）に接続され、他端側が第１開閉弁（２０）を介して吸引源（２２）に接続される第１吸引路（１８）と、を備え、粘着テープを被加工物の外周に沿って切断する切り刃（３２）用の逃げ溝（１０）がテープ保持部の内周に沿って設けられている。【選択図】図１ |
