表面加工装置及び方法

摘要

【課題】砥石と遊離砥粒とを用いて研削を行うことにより、加工レートと良好な面粗さとを共に得ようとする技術が提案されている。しかし、従来の砥石は砥粒とボンド材とが硬く結合しているため、供給された遊離砥粒を十分に保持することができず、供給される遊離砥粒を加工レートと良好な面粗さの向上に活かすことができなかった。【解決手段】表面に突き刺さって配置される高硬度の微粒石と、微粒石が突き刺さった状態で形状維持するための樹脂とからなる砥石などを提供する。【選択図】図３