研磨装置

摘要

【課題】ワークに対し略直角な２方向の研磨処理を確実に施す。【解決手段】研磨装置Ａは、表面が研磨面１１となっている研磨テープ１０（研磨部材）と、研磨面１１に対しワークＷを押し付けた状態に保持する可動保持部材２７と、研磨面１１と可動保持部材２７を往復方向へ相対変位させる研磨用駆動機構４３と、可動保持部材２７を、ワークＷに対して偏心した揺動軸２６を支点として研磨面１１に沿って揺動させる揺動用駆動機構３７とを備えている。【選択図】図１