圧電素子、圧電素子応用デバイス、及び圧電素子の製造方法

摘要

【課題】圧電体層の特性が向上し、変位効率の高い圧電素子、圧電素子応用デバイス、及び圧電素子の製造方法を提供する。【解決手段】第１電極と、第１電極に設けられ、（１００）面に優先配向したペロブスカイト型構造の複合酸化物の結晶からなる圧電体層７０と、圧電体層７０に設けられ、（１００）面に優先配向した白金からなる第２電極８０、８１とを備えた圧電素子であって、圧電体層７０は、第１電極側の結晶の面間隔Ｌａより、第２電極側の結晶の面間隔Ｌｅの方が大きい。【選択図】図９