| 发明名称 | 用于永久接合的方法和装置 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种用于第一衬底(1)的第一层(2)与第二衬底(1')的第二层(2')在接合界面(5)上的永久接合的方法，其特征在于，在该接合之前和/或期间，至少在该接合界面(5)的区域中增加该第一和/或第二层(2、2')的位错(4)的位错密度。此外，本发明涉及一种相应的装置。 | ||
| 申请公布号 | CN106415811A | 申请公布日期 | 2017.02.15 |
| 申请号 | CN201580023049.1 | 申请日期 | 2015.04.22 |
| 申请人 | EV 集团 E·索尔纳有限责任公司 | 发明人 | M.温普林格;B.雷布汉 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 卢江;刘春元 |
| 主权项 | 一种用于第一衬底(1)的第一层(2)与第二衬底(1')的第二层(2')在接合界面(5)上的永久接合的方法，其特征在于，在该接合之前和/或期间，至少在该接合界面(5)的区域中增加该第一和/或第二层(2、2')的位错(4)的位错密度。 | ||
| 地址 | 奥地利圣弗洛里安 | ||