发明名称 |
一种封闭式臭氧喷淋系统 |
摘要 |
本实用新型公开了一种封闭式臭氧喷淋系统,其包括第一手动阀等,第一手动阀和第二手动阀都与氮气罐连接,第一气动阀连接于第一手动阀下方,第二气动阀连接于第一手动阀下方,氮气加热管的两端分别与第一气动阀和喷淋管相连,第二流量计的两端分别与第二气动阀和喷淋管相连,第一流量计与喷淋管相连,第三气动阀的两端分别与第三手动阀和第一流量计相连,臭氧发生机和氧气罐相连且位于第三手动阀上方,抽风机的两端分别与出风口、甩干机连接,第一流量计、喷淋管、第二流量计都位于甩干机内。本实用新型解决了臭氧外泄问题,使氧化层更加均匀,减少氧气用量,提高生产效率。 |
申请公布号 |
CN205959958U |
申请公布日期 |
2017.02.15 |
申请号 |
CN201620768598.3 |
申请日期 |
2016.07.14 |
申请人 |
江苏永能光伏科技有限公司 |
发明人 |
常宇峰;王亚豪;庞国峰;张亦平 |
分类号 |
H01L21/67(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/67(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种封闭式臭氧喷淋系统,其特征在于,其包括第一手动阀、第一气动阀、第二手动阀、第二气动阀、第三手动阀、第三气动阀、第一流量计、喷淋管、第二流量计、氮气加热管、甩干机、抽风机、出风口、氧气罐、氮气罐、臭氧发生机,第一手动阀和第二手动阀都与氮气罐连接,第一气动阀连接于第一手动阀下方,第二气动阀连接于第一手动阀下方,氮气加热管的两端分别与第一气动阀和喷淋管相连,第二流量计的两端分别与第二气动阀和喷淋管相连,第一流量计与喷淋管相连,第三气动阀的两端分别与第三手动阀和第一流量计相连,臭氧发生机和氧气罐相连且位于第三手动阀上方,抽风机的两端分别与出风口、甩干机连接,第一流量计、喷淋管、第二流量计都位于甩干机内。 |
地址 |
215000 江苏省苏州市张家港经济开发区南园路 |