一种用于粒子束流降能器的控制装置及其控制方法

摘要

本发明公开了一种用于粒子束流降能器的控制装置，包括接收、处理和发出控制讯号的主控单元，与主控单元连接连接、负责发送当前降能器的运动状态以及接收主控单元控制讯号发驱动单元，检测降能器当前位置并发送到主控单元的位置采集单元，用于检测降能器是否超出允许的运动范围的限位单元，检测输出束流的强度，并反馈给主控单元，主控单元根据该反馈信息实现降能器输出束流的调整的束流测量单元。本发明还公开了一种用于粒子束流降能器的控制装置的控制方法，整个控制过程简单，每步操作结果易得，大大提高了便捷性，实现了联锁功能，提高了使用的安全性。

主权项

一种用于粒子束流降能器的控制装置，其特征在于：包含：一主控单元，负责设定、保存降能器的档位位置，并接收、处理和发出控制讯号；一故障单元，与主控单元连接，为一数字量输入模块，负责接收其他系统单元的状态信号，主控单元通过该输入信号判断降能器是否工作；一位置采集单元，与主控单元连接，为光栅尺，检测降能器当前位置并发送到主控单元；一限位单元，与主控单元连接，为接近开关，用于检测降能器是否超出允许的运动范围；一驱动单元，与主控单元连接连接，包括驱动器和编码器，驱动器与主控单元连接，编码器负责发送当前降能器的运动状态信息至主控单元，主控单元根据状态信息将控制讯号发至驱动器，驱动降能器的运动；一束流测量单元，与主控单元连接，为一束流传感器，检测输出束流的强度，并反馈给主控单元，主控单元根据该反馈信息实现降能器输出束流的调整；一电力单元，用于给主控单元和驱动单元供电。